干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油。

干式螺杆真空泵的性能特点：

1、工作腔内无任何介质，可获得洁净真空

2、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。

3、水温对真空影响小，节水达90%以上，甚至可以不耗水。

4、结构简单，维护方便。

5、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。

6、不耗油，无滴漏

7、旋转部件间无摩擦，可高速运转，整机体积小

8、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层 ，可适应恶劣工况

9、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体

10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组

干式螺杆真空泵工作原理：

与螺杆式压缩机类似，螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现在以其中一对齿来说明。

吸气过程阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

压缩过程转于端面是排气端面。在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转于沿逆时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

排气过程螺杆泵的排气过程，齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。